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英文名称: |
Test method for measuring surface metallic contamination of silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2013-11-12 |
实施日期: |
2014-04-15
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
主管部门: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅业科技发展有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
起草人: |
褚连青、王奕、徐静、王鑫、何秀坤、裴会川、冯亚彬、鲁文峰、张雪囡 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2014-04-15 |