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| 英文名称： |
Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers |
 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-07-24 |
| 实施日期： |
2015-02-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会 |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会 |
| 起草单位： |
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院 |
| 起草人： |
丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川 |
| 页数： |
8页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-02-01 |