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微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则

国家标准
标准编号:GB/T 26113-2010 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
英文名称:  Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2011-01-10
实施日期:  2011-10-01
首发日期:  2011-01-10
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
主管部门:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
起草人:  丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2011-10-01
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
本标准主要起草人:丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。
引用标准
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