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| 英文名称： |
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for KOH etch process |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2012-05-11 |
| 实施日期： |
2012-12-01
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| 首发日期： |
2012-05-11 |
| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 主管部门： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心 |
| 起草人： |
夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲、贺学锋、田雷、刘伟 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066·1-45572 |
| 出版日期： |
2012-12-01 |