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半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

国家标准
标准编号:GB/T 32817-2016 标准状态:现行
标准价格:43.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。
英文名称:  Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件
什么是采标情况? 采标情况:  IEC 62047-4:2008
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2016-08-29
实施日期:  2017-03-01
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
起草人:  李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲
页数:  24页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2017-03-01
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