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英文名称: |
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
ICS分类: |
电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件 |
采标情况: |
IEC 62047-4:2008 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2016-08-29 |
实施日期: |
2017-03-01
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复审日期: |
2023-12-28 |
提出单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: |
中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学 |
起草人: |
李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲 |
页数: |
24页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2017-03-01 |