确定晶片坐标系规范 |
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| 标准编号：GB/T 16596-1996 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：20.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 |
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| 英文名称： |
Specification for establishing a wafer coordinate system |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 16596-2019代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： |
SEMI M20-92 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1996-01-01 |
| 实施日期： |
1997-04-01
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| 作废日期： |
2020-02-01
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| 首发日期： |
1996-11-04 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
中国有色金属工业总公司 |
| 页数： |
平装16开， 页数：6， 字数：6千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-13651 |
| 出版日期： |
1997-04-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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