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电子工业用气体 硅烷(SiH4)

国家标准
标准编号:GB/T 15909-1995 标准状态:已作废
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
英文名称:  Gas for electronic industry-Silane
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 15909-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是采标情况? 采标情况:  =SEMI-93
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1995-01-02
实施日期:  1996-08-01
作废日期:  2010-05-01
首发日期:  1995-12-20
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化工部西南化工研究院
页数:  平装16开, 页数:9, 字数:13千字
出版社:  中国标准出版社
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