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电子工业用气体 三氯化硼

国家标准
标准编号:GB/T 17874-2010 标准状态:已作废
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
英文名称:  Gases for electronic industry-Boron trichloride
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2011-04-01
实施日期:  2011-05-01
作废日期:  2022-05-01
首发日期:  1999-09-16
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
起草单位:  西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
起草人:  孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2011-05-01
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