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电子特气 三氟化氮

国家标准
标准编号:GB/T 21287-2021 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯,或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
英文名称:  Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 21287-2007
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2021-10-11
实施日期:  2022-05-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司等
起草人:  王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科等
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-10-01
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工业气体与化学气体相关标准 第1页 第2页 
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 GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢
 GB/T 26073-2010 有毒与可燃性气体检测系统安全评价导则
 GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
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 GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
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工业气体相关标准 第1页 第2页 第3页 
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