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| 英文名称： |
Electronic gas—Sulphur hexaflouride |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 18867-2014 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-04-25 |
| 实施日期： |
2025-11-01
即将实施 距离实施日期还有153天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、福建永晶科技股份有限公司、上海上芃电气有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、南大光电(淄博)有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司等 |
| 起草人： |
陈兴龙、汤月贞、陈施华、林德荣、史婉君、钟卉菲、刘春花、李文、陈凯、史兰、黄秀荣、张艳志、张露露、陈艳珊、吕磊、谢世鹏、郭琼、孙福楠、依俊廷、杜雨桐、方华、黄辉、杨金山、鲍光强、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、赵洁、唐念、李丽、齐国栋、唐峰、吴俊杰、何波等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |