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电子工业用气体 三氯化硼

国家标准
标准编号:GB/T 17874-1999 标准状态:已作废
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
英文名称:  Gases for electronic industry--Boron trichloride
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 17874-2010代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  国家质量技术监督局
发布日期:  1999-09-01
实施日期:  2000-06-01
作废日期:  2011-05-01
首发日期:  1999-09-16
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  光明化工研究设计院
页数:  平装16开, 页数:8, 字数:11千字
出版社:  中国标准出版社
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