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| 英文名称： |
Silicon epitaxial layers－Determination of carrier concentration－Mercury probe valtage-capacitance method |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 14146-2009代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
669.782 |
| 采标情况： |
DIN 50439-1982,REF |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1993-02-06 |
| 实施日期： |
1993-10-01
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| 作废日期： |
2010-06-01
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| 首发日期： |
1993-02-06 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
上海市有色金属总公司 |
| 页数： |
平装16开， 页数：6， 字数：8千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 标准前页： |
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