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| 英文名称： |
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 11073-2007替代 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
669.782;621.317.33 |
| 采标情况： |
＝ASTM F81-82 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1989-03-31 |
| 实施日期： |
1990-02-01
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| 作废日期： |
2008-02-01
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| 首发日期： |
1989-03-31 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
中国有色金属工业协会 |
| 主管部门： |
中国有色金属工业协会 |
| 起草单位： |
峨嵋半导体材料研究所 |
| 页数： |
14页 |
| 标准前页： |
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