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半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片

国家标准
标准编号:GB/T 42709.3-2026 标准状态:即将实施
标准价格:33.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了一种标准试验片,用于保证长度和宽度均小于1 mm、厚度小于10 μm的薄膜材料拉伸试验的适用性和准确性,该类薄膜材料是微机电系统(MEMS)、微机械和同类器件使用的主要结构材料。
本文件为了确保拉伸试验系统的适用性和准确性,测试用标准试验片的拉伸强度应是可预计的,且在测试系统测试范围内。同时也对试验片进行了详细规定,以最小化试验片之间的性能偏差。
英文名称:  Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 3:Thin film standard test piece for tensile testing
标准状态:  即将实施
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>半导体分立器件>>L40半导体分立器件综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  IEC 62047-3:2006
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2026-04-30
实施日期:  2026-11-01  即将实施 距离实施日期还有142
提出单位:  中华人民共和国工业和信息化部
什么是归口单位? 归口单位:  全国集成电路标准化技术委员会(SAC/TC 599)
起草单位:  河北美泰电子科技有限公司、中国电科产业基础研究院
起草人:  梁彦青、罗蓉、姚世婷、周明琴、刘聪聪、杨拥军、吝海锋
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
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