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| 英文名称： |
Electronic gas—Silicon tetrafluoride |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 31058-2014 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2026-04-30 |
| 实施日期： |
2026-11-01
即将实施 距离实施日期还有143天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
浙江中宁硅业股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司、成都产品质量检验研究院有限责任公司、重庆同辉气体有限公司、湖北和远气体股份有限公司、齐磷科技(开阳)有限责任公司、天津绿菱气体股份有限公司等 |
| 起草人： |
栗广奉、张朝春、赵斌、沈永淼、宋雄斐、林德荣、黄加斗、刘辉、江罗、杜鹏举、刘志新、赵云、王新鹏、汤萍、侯鹏、钱吉、阳辉、吴文静、马建修、唐忠福、张净普、贾静姗、殷玲、张楠、柳曦、袁有录、史兰、徐小捷、程化鹏、史婉君、陈超、钟卉菲、方华、刘学生、夏红真等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |