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| 英文名称： |
Electronic gas—Tungsten hexafluoride |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 32386-2015 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2026-04-30 |
| 实施日期： |
2026-11-01
即将实施 距离实施日期还有165天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、宁夏宝廷新材料科技股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中国计量测试学会、湖北和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、大连华邦化学有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司等 |
| 起草人： |
张金彪、曹素英、王瑜、李嘉磊、杨扬仲夫、程化鹏、吴旭飞、钟少勇、邸士强、江罗、杜鹏举、张长金、滕鑫胜、袁有录、史兰、侯鹏、钱吉、钟卉菲、方华、娄珈元、邓海平、黄辉、王宾、谭淇、尚柏羊、赵跃、刘英杰、房嵩、殷昊、王阳、牛迪、孙鑫、谈益强、尹乐乐、高静等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |