电子工业用气体 氧化亚氮 |
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| 标准编号：GB/T 14600-1993 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：17.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。
本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry. Nitrous oxide |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 14600-2009代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1993-08-26 |
| 实施日期： |
1994-07-01
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| 作废日期： |
2010-05-01
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| 首发日期： |
1993-08-26 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
中华人民共和国化学工业部 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
化工部西南化工研究院 |
| 起草人： |
段淑芳 |
| 页数： |
6页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
1994-07-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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