工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 26068-2018

硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

国家标准
标准编号:GB/T 26068-2018 标准状态:现行
标准价格:41.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了单晶和铸造多晶的硅片及硅锭的载流子复合寿命的非接触微波反射光电导衰减测试方法。
本标准适用于硅锭和经过抛光处理的N型或P型硅片(当硅片厚度大于1mm时,通常称为硅块)载流子复合寿命的测试。在电导率检测系统灵敏度足够的条件下,本标准也可用于测试切割或经过研磨、腐蚀的硅片的载流子复合寿命。通常,被测样品的室温电阻率下限在0.05Ω·cm~10Ω·cm之间,由检测系统灵敏度的极限确定。载流子复合寿命的测试范围为大于0.1.s,可测的最短寿命值取决于光源的关断特性及衰减信号测定器的采样频率,最长可测值取决于样品的几何条件及其表面的钝化程度。
英文名称:  Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 26068-2010
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-12-28
实施日期:  2019-11-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:  曹孜、孙燕、黄黎、赵而敬、徐红骞、高英、石宇、楼春兰、王昕、张雪囡、林清香、刘卓、肖宗杰
页数:  32页【彩图】
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2019-01-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]

金属物理性能试验方法相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 28871-2012 铌三锡(Nb3Sn)复合超导体的直流临界电流测量
 GB/T 30140-2013 磁性材料在低频磁场中屏蔽效能的测量方法
 GB/T 30537-2014 超导电性 块状高温超导体的测量 大晶粒氧化物超导体的俘获磁通密度
 GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
 GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
 GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法
 GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
 GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法
 GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
 GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
 免费下载金属物理性能试验方法标准相关目录

金属材料试验相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
 GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
 GB/T 32277-2015 硅的仪器中子活化分析测试方法
 GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
 GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
 GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
 GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
 GB/T 33362-2016 金属材料 硬度值的换算
 GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
 GB/T 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法
 免费下载金属材料试验标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
baidu 中搜索:GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
yahoo 中搜索:GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
soso 中搜索:GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
中搜索:GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved