硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 |
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| 标准编号：GB/T 4061-1983 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 |
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| 英文名称： |
Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 4061-2009代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法 |
| ICS分类： |
冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析 |
| UDC分类： |
669.782;548.2;620.193.4 |
| 发布部门： |
国家标准局 |
| 发布日期： |
1983-01-02 |
| 实施日期： |
1984-01-02
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| 作废日期： |
2010-06-01
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| 首发日期： |
1983-12-20 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
峨嵋半导体材料厂 |
| 页数： |
2页 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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