GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。


英文名称：	Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
中标分类：	电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：	电子学>>31.200集成电路、微电子学
采标情况：	＝SEMI P3-90
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1996-09-09
实施日期：	1997-05-01
首发日期：	1996-09-09
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	长沙韶光微电子总公司
页数：	平装16开，页数：8，字数：10千字
出版社：	中国标准出版社
书号：	155066.1-13733
出版日期：	2004-08-27
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