GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。


英文名称：	Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
中标分类：	电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：	电子学>>电子电信设备用机电零部件>>31.220.10插头和插座装置、连接器
采标情况：	,
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1995-01-02
实施日期：	1996-08-01
首发日期：	1995-12-22
复审日期：	2023-12-28
归口单位：	信息产业部（电子）
主管部门：	信息产业部（电子）
起草单位：	中国华晶电子集团公司
页数：	平装16开，页数：15，字数：26千字
出版社：	中国标准出版社
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