表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 |
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| 标准编号：GB/T 29557-2013 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：36.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。 |
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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO/TR 15969:2001 IDT |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2013-07-19 |
| 实施日期： |
2014-03-01
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| 提出单位： |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38) |
| 归口单位： |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 主管部门： |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。 |
| 起草人： |
陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066·1-47504 |
| 出版日期： |
2014-03-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。 |
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