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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  SJ/T 31082-1994  真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31088-1994  ZXD－60镀银机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31084-1994  电子束蒸发台完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31063-1994  TCM－B三氯乙烯清洗机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31083-1994  DM－450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 1997-01-01 作废  SJ/T 31086-1994  自动局部镀银装置完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31087-1994  镀锡机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31124-1994  AEC－2200型常压CVD完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31125-1994  PET－5500型常压CVD完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31126-1994  YL－1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31135-1994  涂复机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31170-1994  玻屏涂敷机完好要求和检查评定方法 1991-07-01 废止  SJ/T 31203-1994  双列32工位有机膜涂敷机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31215-1994  阴极喷涂机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止

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