半导体器件扩散炉 能耗分等 |
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| 标准编号：JB/T 5630-1991 |
标准状态：已废止 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。 |
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| 标准状态： |
已废止 |
 替代情况： |
公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号) |
| 中标分类： |
机械>>机械综合>>J01技术管理 |
| 发布部门： |
机械电子工业部 |
| 发布日期： |
1991-09-13 |
| 实施日期： |
1992-07-01
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| 作废日期： |
2017-05-12
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| 提出单位： |
机械电子工业部生产司 |
| 归口单位： |
机械电子工业部机械标准化研究所 |
| 起草单位： |
国营七○○厂 |
| 起草人： |
钱祖权、黄淑敏 |
| 页数： |
4 页 |
| 出版社： |
机械工业出版社 |
| 出版日期： |
1992-07-01 |
| 标准前页： |
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