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电子级水中微粒的仪器测试方法
标准编号:
GB/T 11446.9-1997
标准状态:
已作废
标准价格:
20.0
元
客户评分:
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标准简介
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径大于或等于0.5μm,微粒的浓度为(0~10 000)个/mL。
英文名称:
Test method for particles in electronic grade water by instrument
标准状态:
已作废
替代情况:
GB 11446.9-1989
;被
GB/T 11446.9-2013
代替
中标分类:
电子元器件与信息技术
>>
电子设备专用材料、零件、结构件
>>
L90电子技术专用材料
ICS分类:
31.030
采标情况:
,
发布部门:
国家技术监督局
发布日期:
1997-09-01
实施日期:
1998-09-01
作废日期:
2014-08-15
首发日期:
1989-06-22
复审日期:
2004-10-14
归口单位:
信息产业部(电子)
主管部门:
信息产业部(电子)
起草单位:
中国科学院半导体研究所
页数:
2页
出版社:
中国标准出版社
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