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光刻用掺钛石英玻璃

国家标准
标准编号:GB/T 45826-2025 标准状态:即将实施
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃(以下简称掺钛石英玻璃)的要求、检验规则以及标志、包装、运输和贮存,描述了相应的试验方法。
本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。
英文名称:  Titania doped silica glass for lithography
标准状态:  即将实施
什么是中标分类? 中标分类:  建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
什么是ICS分类?  ICS分类:  玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2025-05-30
实施日期:  2025-12-01  即将实施 距离实施日期还有149
提出单位:  中国建筑材料联合会
什么是归口单位? 归口单位:  全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
起草单位:  湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司、中国科学院微电子研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司等
起草人:  张寒、聂兰舰、刘俊龙、夏郭俊、谢常青、张海涛、沈一春、钱宜刚、邵竹锋、王慧、刘焕敏、刘亚茹、王京侠、李佩悦、于浩、陈卫东、刘振禹、毛露路、云仕东、莫大洪、王世凯、裴广庆、曹欣、崔剑秋、黄婷、秦卫光、韩甫、金晓荣、黄芸、卢卫民、蔡晓峰、司继伟、郑宇辰等
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
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