化合物半导体芯片工厂设计规范 |
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| 标准编号：SJ/T 12000-2025 |
标准状态：即将实施 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本规范适用于新建、改建和扩建的化合物半导体芯片工厂的工程设计。主要技术内容包括：总则、术语、基本规定、工艺、总图、建筑与结构、气体动力、暖通与净化、给排水、化学品、电气、空间管理、绿色低碳等。 |
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| 标准状态： |
即将实施 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2025-04-10 |
| 实施日期： |
2025-08-01
即将实施 距离实施日期还有70天 |
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