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| 英文名称： |
Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子元器件与信息技术综合>>L04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
07.120 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-03-15 |
| 实施日期： |
2024-10-01
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| 提出单位： |
中国科学院 |
| 归口单位： |
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
| 起草单位： |
中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维(广东)光电科技有限公司 |
| 起草人： |
李伟、李适、朱振东、李群庆、陈林森、李晓军、高思田、李琪、施玉书、黄鹭、史瑞、乔文、华鉴瑜 |
| 页数： |
36页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |