电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范 |
 |
| 标准编号：DB13/T 5631-2022 |
标准状态：已废止 |
|
| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
|
|
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务！ |
|
|
|
|
|
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。 |
|
|
|
|
|
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件由由廊坊市市场监督管理局提出。
本文件起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。
本文件主要起草人：贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东。 |
|
|
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 50034 建筑照明设计标准
GB 50073 洁净厂房设计规范
GBZ 2.1 工作场所有害因素职业接触限值（第一部分 化学有害因素）
GBZ 188 职业健康监护技术规范
GBZ/T 189.8 工作场所物理因素测量 第8部分：噪声 |
|
|
|
| |