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半导体用正胶显影液

国家标准
标准编号:T/CEMIA 030-2022 标准状态:现行
标准价格:22.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本文件适用于半导体用正胶显影液,其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。
四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。
英文名称:  Positive photoresist developer for semiconductor manufacture
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  31.030
发布部门:  中国电子材料行业协会
发布日期:  2022-04-20
实施日期:  2022-07-20
提出单位:  中国电子材料行业协会
什么是归口单位? 归口单位:  中国电子材料行业协会
起草单位:  杭州格林达电子材料股份有限公司
起草人:  邢攸美、李潇逸、张之钧、赵健、胡涛、李盈盈、陈东良、顾峻、徐文干、孙炜、刘新雨、王琪、周利超、李林佳、余红刚、倪芸岚、陈海刚、杨小平、章帅迪、刘永南、姚艺融、刘为波、翁雪平、傅华、高小云
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
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