半导体用正胶显影液 |
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| 标准编号：T/CEMIA 030-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：22.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本文件适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。
四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。 |
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| 英文名称： |
Positive photoresist developer for semiconductor manufacture |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2022-04-20 |
| 实施日期： |
2022-07-20
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| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
杭州格林达电子材料股份有限公司 |
| 起草人： |
邢攸美、李潇逸、张之钧、赵健、胡涛、李盈盈、陈东良、顾峻、徐文干、孙炜、刘新雨、王琪、周利超、李林佳、余红刚、倪芸岚、陈海刚、杨小平、章帅迪、刘永南、姚艺融、刘为波、翁雪平、傅华、高小云 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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