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英文名称: |
High purity copper alloy target for integrated circuit |
中标分类: |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金 |
ICS分类: |
冶金>>有色金属产品>>77.150.30铜产品 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2020-11-19 |
实施日期: |
2021-10-01
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提出单位: |
中国有色金属工业协会 |
归口单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
起草单位: |
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司 |
起草人: |
曹欢欢、袁海军、姚力军、王学泽、曾浩、边逸军、钟伟华、周友平、贺昕、慕二龙、高岩、江伟龙 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2020-11-01 |