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氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

国家标准
标准编号:GB/T 39144-2020 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于5×1014cm-3。
英文名称:  Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2020-10-11
实施日期:  2021-09-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
起草人:  马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、倪青青
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2020-10-01
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