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英文名称: |
Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS) |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
ICS分类: |
31.030 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2016-04-25 |
实施日期: |
2016-11-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、东海县产品质量监督检验所、江苏太平洋石英股份有限公司 |
起草人: |
李运强、薄雷明、冯亚彬、管琪、许振午、武为民、周文梅 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2016-11-01 |