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英文名称: |
Test method for sub-surface damege of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction |
中标分类: |
>>>>L5971 |
发布部门: |
中华人民共和国电子工业部 |
发布日期: |
1998-03-18 |
实施日期: |
1998-05-01
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归口单位: |
中国电子技术标准化研究所 |
起草单位: |
电子工业部第四十六研究所 |
起草人: |
张世敏、郝建民、段曙光 |
页数: |
4页 |
出版社: |
电子工业出版社 |
出版日期: |
1998-04-01 |
标准前页: |
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