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 您的位置:工标网 >> 有色金属行业标准(YS) >> YS/T 983-2014

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

国家标准
标准编号:YS/T 983-2014 标准状态:现行
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%~100%。
英文名称:  Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
什么是中标分类? 中标分类:  >>>>
 >>>>17
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2014-10-14
实施日期:  2015-04-01
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
主管部门:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:  四川新光硅业科技有限责任公司等
起草人:  敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066·2-28287
出版日期:  2015-04-01
相关搜索: 多晶硅还原炉  [ 评论 ][ 关闭 ]
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
本标准参加起草单位:天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司。
本标准主要起草人:敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽。
引用标准
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