多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法 |
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| 标准编号：YS/T 983-2014 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：14.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。 |
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| 英文名称： |
Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas |
 中标分类： |
>>>>
>>>>17 |
| ICS分类： |
冶金>>77.040金属材料试验 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2014-10-14 |
| 实施日期： |
2015-04-01
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| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
四川新光硅业科技有限责任公司等 |
| 起草人： |
敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽 |
| 页数： |
8页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066·2-28287 |
| 出版日期： |
2015-04-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
本标准参加起草单位:天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司。
本标准主要起草人:敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽。 |
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GB/T7445 纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 |
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