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多晶硅工厂设计规范

国家标准
标准编号:GB 51034-2014 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本规范由中华人民共和国住房和城乡建设部第530号公告发布,自2015年5月1日起实施。其中,第4.2.8、6.1.3(9)、6.1.6(3)、6.2.8(3)、8.1.1、8.2.1(2、3、5)、8.2.5(3)、8.3.1(2、3)、8.3.2(2)、8.6.4、9.1.3、9.3.4、9.4.3、9.5.2、10.1.3、10.3.4、10.3.6、10.3.9、11.1.6、11.2.3、12.2.5条(款)为强制性条文,必须严格执行。
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
发布部门:  中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期:  2014-08-27
实施日期:  2015-05-01
出版社:  中国计划出版社
出版日期:  2015-05-01
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目录
1 总 则
2 术 语
3 基本规定
4 厂址选择及厂区规划
5 工艺设计
6 电气及自动化
7 辅助设施
8 建筑结构
9 给水、排水和消防
10 采暖、通风与空气调节
11 环境保护、安全和卫生
12 节能、余热回收
附录A 地下管线与建(构)筑物之间的最小水平净距
附录B 地下管线之间的最小水平净距
附录C 主要房间空气洁净度、温度、湿度
本规范用词说明
引用标准名录
附:条文说明

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