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 您的位置:工标网 >> 有色金属行业标准(YS) >> YS/T 936-2013

集成电路器件用镍钒合金靶材

国家标准
标准编号:YS/T 936-2013 标准状态:现行
标准价格:21.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
英文名称:  Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>有色金属产品>>77.150.40镍和铬产品
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2013-10-17
实施日期:  2014-03-01
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
主管部门:  全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
起草单位:  有研亿金新材料股份有限公司等
起草人:  董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜
页数:  20页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2014-03-01
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
本标准参加起草单位:北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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