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| 英文名称： |
Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method |
 替代情况： |
被GB/T 29056-2025代替 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2012-12-31 |
| 实施日期： |
2013-10-01
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| 作废日期： |
2026-05-01
即将作废 距离作废日期还有11天
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO 源研究开发中心 |
| 起草人： |
郑华荣、刘新军、龚磊荣、张莉萍、黄和明、陈逸君、虞磊 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2013-10-01 |