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半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

国家标准
标准编号:GB/T 24468-2009 标准状态:现行
标准价格:59.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准定义了设备的六个基本状态,所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定,而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上,而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。
英文名称:  Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表
什么是采标情况? 采标情况:  SEMI E10-0304:2004 MOD
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2009-10-15
实施日期:  2009-12-01
首发日期:  2009-10-15
提出单位:  全国半导体设备与材料标准化技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备与材料标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国电子技术标准化研究所
起草人:  黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝
计划单号:  20068064-T-469
页数:  36页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2009-12-01
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