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硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行)

标准
标准编号:SJ 1551-1979 标准状态:已废止
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度,通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线,可求得电阻率。
英文名称:  Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional)
标准状态:  已废止
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
发布部门:  中华人民共和国第四机械工业部
发布日期:  1980-03-01
实施日期:  1980-06-01
作废日期:  2010-02-01
页数:  4页
出版日期:  1980-06-01
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