SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法电子行业标准(SJ)-工标网

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标准简介


英文名称：	Test method for resistivity of silicon epitaxial layers by area contacts three-probe techniques
标准状态：	已废止
中标分类：	能源、核技术>>能源、核技术综合>>F01技术管理
发布日期：	1994-04-11
实施日期：	1994-10-01
作废日期：	2010-01-20
页数：	9页
出版社：	电子工业部标准化研究
出版日期：	2004-04-18

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