磁控溅射设备通用技术条件 |
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| 标准编号：SJ/T 10478-1994 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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| 英文名称： |
General specification for magnetic sputtering equipment |
 中标分类： |
医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| 发布日期： |
1994-04-11 |
| 实施日期： |
1994-10-01
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| 页数： |
11页 |
| 出版社： |
电子工业部标准化研究 |
| 出版日期： |
2004-04-18 |
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